企业成功上市✿★✿，正扬传感✿★✿、天箭惯性✿★✿、明皜传感✿★✿、长光辰芯✿★✿、速腾聚创✿★✿、图达通……等多家传感器企业吹响冲击股市的号角✿★✿。

　　MEMS芯片智能传感器的核心部件✿★✿，随着产业的快速发展✿★✿，今年来多条MEMS产线相继落地/建成✿★✿，这其中包括深圳首条MEMS中试线落地✿★✿、济南首条MEMS产线建成✿★✿、拜安传感国内首条MEMS光纤传感器芯片产线建成✿★✿、美新半导体绍兴MEMS产线下半年投产✿★✿、奥松电子8英寸MEMS新产线动工……等好消息✿★✿。

　　当然✿★✿，在“优胜劣汰”市场规律下✿★✿，也有一些MEMS产线淡出✿★✿，譬如东方微磁已破产注销✿★✿，其建设的国内第一条MEMS磁传感器芯片产线也被破产清算✿★✿。

　　下文✿★✿，我们来看看中国主要MEMS芯片产线月份✿★✿，其中更新MEMS产线资料在最前面✿★✿，因时间仓促✿★✿，资料繁多✿★✿，部分信息错漏请在传感器专家网公众号本内容留言讨论✿★✿。

　　据济南高新技术产业开发区管理委员会信息披露✿★✿，今年5月✿★✿，由济南高新技术创业服务中心服务的山东产研院倾力打造的产研院硅基微纳制造公共技术服务平台全线贯通✿★✿，实现具备完整MEMS生产加工能力✿★✿，其自主生产的首款产品正式下线并交付✿★✿。

　　微纳制造平台建设总投资2亿元✿★✿，山东产研微纳与智能制造研究院主导运营✿★✿，是济南市首条具备完整MEMS芯片生产加工能力的产线✿★✿，定位于MEMS传感器产品转化和工程化验证✿★✿。平台总面积5500平方米J9九游会✿★✿，洁净间面积约1800平方米✿★✿，包括光刻区✿★✿、刻蚀区✿★✿、湿法区✿★✿、高温区✿★✿、注入区✿★✿、金属化区✿★✿、划片区✿★✿、封装区✿★✿、测试区等9大功能区✿★✿，配置光刻✿★✿、键合✿★✿、扩散✿★✿、腐蚀✿★✿、刻蚀✿★✿、沉积✿★✿、注入✿★✿、封装✿★✿、测试等相关设备90余台✿★✿，可实现MEMS芯片生产全过程✿★✿。

　　据悉✿★✿，山东产研院微纳制造公共技术服务平台设计产能为年产2万晶圆✿★✿，MEMS晶圆尺寸为4&6英寸洛克王国刷绝版宠物挂✿★✿。

　　今年7月20日✿★✿，上海拜安半导体有限公司（以下简称“拜安半导体”）投建的“6英寸MEMS光纤传感器特色研发小试线”正式通线投产运行✿★✿。该项目由拜安科技和上海嘉定综保区公司共同出资建设✿★✿，总投资约1.5亿元✿★✿，致力于MEMS光纤传感器芯片的制造和封装测试及相关研发业务✿★✿，为6英寸MEMS芯片工艺线✿★✿。该产线是国内首条具备量产能力的MEMS光纤传感器芯片生产线万片晶圆✿★✿，未来将通过分期投建扩产✿★✿，最终产线万片/年的生产能力✿★✿。拜安半导体MEMS产线年全面投产✿★✿，目前较原计划提前半年投产✿★✿。未来✿★✿，该产线在满足母公司拜安传感的产品及研发需求后✿★✿，将开放富余产能✿★✿，向其他企事业单位提供代工或委托研发服务✿★✿。拜安科技主营产品是以光纤光栅传感✿★✿、分布式光纤传感以及MEMS光纤传感为主的智能光纤传感器✿★✿，2021年9月获由软银中国资本领投的数亿元 A 轮融资✿★✿，2022年9月获由深创投✿★✿、中芯聚源等投资的数亿元B轮融资✿★✿。

　　美新半导体（MEMSIC）是全球领先的惯性MEMS传感器及解决方案提供商✿★✿，于1999年成立, 目前总部位于中国天津✿★✿，2007年在美国纳斯达克上市✿★✿，是全球MEMS第一股✿★✿，中国MEMS十强企业之一✿★✿。

　　美新半导体在无锡建有8英寸MEMS磁✿★✿、惯性传感器晶圆生产✿★✿、封测产线日✿★✿，据《绍兴日报》报道✿★✿，总投资约3.5亿元✿★✿，建筑面积约5.27万平方米的绍兴集成电路设计产业园（西园）项目计划2023年6月竣工✿★✿。位于园区内的美新半导体项目即将投产✿★✿，投产后将形成年产6亿颗MEMS磁传感器芯片和1.2亿颗加速度传感器的生产能力✿★✿。

　　据越城发布公众号消息✿★✿，美新半导体（绍兴）有限公司年产6亿颗MEMS磁传感器生产线及加速度传感器工艺开发实验线月份竣工验收✿★✿，目前正在调试设备和工艺✿★✿，将于下半年正式投产✿★✿。

　　臻芯微电子是国内前端芯片厂商苏州汉天下旗下子公司✿★✿，负责运营MEMS晶圆厂✿★✿，主要用于MEMS滤波器芯片的生产✿★✿。

　　臻芯微电子成立于2021年6月✿★✿，其MEMS滤波器芯片产线月完成设备调试和全线投片通线✿★✿，计划于近期开始试生产✿★✿，整体达产后年销售突破15亿元✿★✿。其MEMS滤波器芯片研发生产项目总投资14亿元✿★✿。其中一期投资8亿元✿★✿，建设一条高性能体声波滤波器芯片制造和封装线亿颗体声波（BAW）滤波器芯片能力✿★✿；二期扩产后滤波器年产量翻倍✿★✿，并具备应用于对应规模的射频模组封测能力✿★✿。

　　据臻芯微电子披露✿★✿，该MEMS滤波器芯片产线万颗滤波器芯片✿★✿，此外✿★✿，该产线具备表声波（SAW）滤波器生产能力✿★✿，年产能达12亿颗✿★✿。

　　锐石创芯是一家专注于高性能的4G5G射频前端产品的研发及销售的公司✿★✿，主要应用于智能手机物联网终端✿★✿、平板电脑✿★✿。

　　锐石创芯MEMS器件生产基地新建项目位于重庆✿★✿，总占地面积120亩✿★✿，总投资22亿✿★✿。其中一期投资约8亿元✿★✿，建设4条MEMS生产线,建成后形成年产MEMS器件约10亿颗(其中以6英寸钽酸锂作为衬底材料的MEMS器件8亿颗✿★✿、以6英寸铌酸锂作为衬底材料的MEMS器件2亿颗)✿★✿，项目核心厂房由晶圆厂和动力站组成✿★✿，建筑面积共2.65万平方米✿★✿，主要生产射频前端MEMS芯片✿★✿。

　　2022年7月项目封顶✿★✿，2022年12月项目首台ASML***入场✿★✿，进入设备调试和试生产阶段✿★✿，预计可能于2023年投产洛克王国刷绝版宠物挂✿★✿。

　　微纳感知由中国科学技术大学科技成果转化而来✿★✿，2015年成立✿★✿，产品包括MEMS微热板芯片✿★✿、MEMS气体流量芯片✿★✿、MEMS气体传感器✿★✿、MEMS气体流量传感器及模组等✿★✿。据微纳感知官网信息披露 ✿★✿，2022年12月《MEMS传感器项目》环评公示✿★✿，拟投资1.1亿元成立产线万只MEMS 气体传感器及4万只MEMS气体流量传感器✿★✿，晶圆尺寸为8英寸, 年投片为6片✿★✿。该项目于2023年1月开工建设✿★✿，2023年4月完成建设洛克王国刷绝版宠物挂✿★✿，2023年4月开始调试✿★✿，2023年5月, 项目完成验收✿★✿。（2023建成）7✿★✿、飞恩微电子（IDM）

　　飞恩微电子成立于2011年✿★✿，是一家MEMS传感器芯片及系统产品供应商✿★✿，公司以汽车电子工业电子和消费电子产品为核心业务✿★✿，提供芯片（专用集成电路芯片✿★✿、MEMS芯片）✿★✿、MEMS传感器J9九游会✿★✿、MEMS传感器系统产品✿★✿、测试设备等四大类产品✿★✿，以及ODM/OEM服务✿★✿。2022年✿★✿，飞恩微电子研发出国内首款车规级MEMS压力传感器芯片✿★✿。2021年7月, 申报《MEMS压力传感器项目》, 规划年产MEMS 压力传感器 500 万件, 具体为 FPT 系列微压传感器 400 万件/年和压力开关传感器 100 万件/年✿★✿。2021年8月, 项目开工✿★✿。2023年3月, MEMS压力传感器项目阶段性验收✿★✿。验收内容为 1 条 FPT 系列微压传感器自动化生产线✿★✿、领航微系统（IDM）-8英寸

　　合肥领航微系统集成有限公司是先进功能薄膜MEMS传感器与执行器微系统IDM企业✿★✿，主营业务范围为MEMS微镜✿★✿，芯片扬声器以及超声波传感器与

　　处理ASIC的研发与制造✿★✿，同时可提供SOI硅基MEMS传感器代工服务✿★✿。领航微系统拥有8英寸薄膜MEMS晶圆工艺线✿★✿，其中薄膜MEMS传感器与执行器产能可达10000片/年✿★✿，SOI硅基MEMS传感器产能可达60000片/年✿★✿，掌握功能薄膜生长✿★✿、MEMS设计✿★✿、工艺✿★✿、封测✿★✿、信号处理等全链条技术✿★✿，以及MEMS结构-工艺-ASIC电路协同设计✿★✿、MEMS机电性能协同测试与自动化封装等方面关键技术✿★✿。

　　（2023拟建）9✿★✿、大湾区MEMS中试线月✿★✿，在深圳光明区举行的中国传感器与应用技术大会暨光明专项招商大会上✿★✿，已敲定总投资额约15.33亿元的大湾区MEMS中试线项目将落户深圳光明区✿★✿。

　　该项目规划建设一条约产能3000片的8吋MEMS中试线✿★✿，并具备热电堆✿★✿、MEMS压力✿★✿、MEMS麦克风✿★✿、MEMS惯性传感✿★✿、微流控和微振镜等工艺平台✿★✿。同时✿★✿，总规模50亿元的智能传感器产业基金也将落地光明✿★✿。

　　消息✿★✿，赛微电子旗下全资子公司赛莱克斯国际与深圳市重大产业投资集团有限公司关联主体等联合✿★✿，通过投资设立赛莱克斯深圳✿★✿，在深圳投资建设MEMS项目✿★✿，深圳大湾区MEMS中试线走向落地✿★✿，并由赛微电子主导建设✿★✿。相关信息参看《深圳首条MEMS中试线✿★✿、华芯智能（IDM）-6英寸

　　2023年1月✿★✿，据天津滨海—中关村北塘湾数字经济产业园消息✿★✿，华芯智能拟选址园区✿★✿，新增投资建设MEMS芯片生产基地并将总部同步落户园区✿★✿。该总部项目落地后✿★✿，将建设世界一流的高性能6英寸MEMS产线✿★✿、全自动惯导模组生产基地✿★✿，形成集组装标定✿★✿、芯片封测✿★✿、高性能MEMS

　　于一体的IDM发展模式✿★✿。目前✿★✿，华芯智能已在天津建有封装模组厂✿★✿，已于2021年投产✿★✿，一期总面积为1050平方米✿★✿，由

　　区域✿★✿、惯导组装区域✿★✿、产品标定区域和办公区域四大部分组成✿★✿。一期工厂芯片封装区域建设有千级的洁净空间✿★✿，引进国际主流品牌的探针台✿★✿、自动贴片机✿★✿、金丝打线机和共晶炉等先进设备✿★✿，计划年产25万颗高性能MEMS惯性传感器✿★✿。产品标定车间拥有超过20套自研

　　标定设备✿★✿，隔振槽下挖2米深✿★✿，采用混凝土浇筑而成✿★✿，惯性导航模组年产能可达5万台套✿★✿。（2023在建）11✿★✿、河南省智能传感器MEMS中试平台（中试线年河南省重点建设项目名单》最新消息显示✿★✿，《郑州高新智能传感器产业基地项目（原MEMS中试平台项目）》列入重点建设名单中✿★✿，属新一代信息技术在建重点项目✿★✿，总建筑面积约6万平方米✿★✿，主要建设河南省智能传感器MEMS研发中试平台所需物理空间✿★✿，包括测试楼✿★✿、主厂房✿★✿、动力中心✿★✿、危废品库✿★✿、硅烷站✿★✿、氢气站✿★✿、化学品库及配套用房✿★✿、设施✿★✿。河南省智能传感器MEMS中试平台落户郑州高新区的中国（郑州）智能传感谷✿★✿，于2022年8月动工建设✿★✿。该项目围绕智能传感器的设计✿★✿、制造✿★✿、封测和应用等全产业链各环节布局✿★✿，建设产能3000-5000片/月的8吋MEMS中试平台✿★✿。

　　2022年12月14日✿★✿，广州增芯科技举行盛大的开工仪式✿★✿，增芯科技有限公司12英寸先进MEMS传感器及特色工艺晶圆制造量产线英寸晶圆项目✿★✿。增芯科技为广州湾区智能传感器产业集团有限公司重点项目之一✿★✿。 目前建设的为一期第一阶段项目✿★✿，批复投资70亿元人民币✿★✿，将建设月加工2万片12英寸的晶圆制造量产线上半年通线年年底满产✿★✿。

　　此前✿★✿，据《广州市2022年重点建设项目计划》显示✿★✿，广州增芯项目总投资达到370亿元✿★✿，将打造集研发✿★✿、量产制造✿★✿、封测与应用为一体的MEMS制造平台✿★✿。项目一期第一阶段达产后产能2万片/月✿★✿；一期第二阶段达产后产能扩至6万片/月✿★✿。

　　中心✿★✿、产学研科研中心及奥松半导体研发办公大楼等建设项目✿★✿，技术能力覆盖CMOS+MEMS特色工艺✿★✿，可全面开展表面硅✿★✿、体硅以及新工艺✿★✿、新器件✿★✿、新系统的研发和量产✿★✿；具有MEMS压阻✿★✿、压电✿★✿、硅光✿★✿、磁材料✿★✿、MOX✿★✿、微流控等相关工艺的研发和量产设备✿★✿，大幅提升产品研发的成功率✿★✿，可实现各类MEMS半导体传感器产品从研发到量产的无缝衔接✿★✿。

　　奥松电子MEMS半导体生产线纳米MEMS半导体工艺制程✿★✿，生产设备约占整个投资规模的70%✿★✿。根据规划✿★✿，2021年二期工程建成350纳米制程工艺MEMS半导体生产线纳米制程工艺MEMS半导体生产线✿★✿；总项目全部建成投产后✿★✿，每月流片规模将达到4万片✿★✿，

　　2021年8月✿★✿，奥松电子官网宣布对外开放MEMS芯片代工业务✿★✿，包括设备共享✿★✿、技术支持✿★✿、企业孵化等服务✿★✿。

　　（2023在建）15✿★✿、蚌埠与214所MEMS项目（代工）-8英寸2020年12月✿★✿，蚌埠与214所签约共同建设8英寸MEMS制造与微系统集成工程建设项目✿★✿，建设周期为2年✿★✿、总投资10亿元✿★✿，建设目标是打造国内领先的8英寸MEMS智能传感器产业化平台✿★✿，建成后将拥有年产5万片的MEMS晶圆制造能力和每年4亿颗MEMS芯片封测能力J9九游会✿★✿。预计2023年进入试运营阶段✿★✿。

　　根据半导体市场研究机构Yole Development统计的2022年数据✿★✿，Silex Microsystems AB 连续4年在全球MEMS纯晶圆代工排名中位居第一✿★✿。相关信息参看《最新全球MEMS晶圆厂排名出炉》

　　赛微电子目前国内的MEMS产线英寸MEMS产线）一期建成生产✿★✿，目前（2023年8月）已形成10000片/月产能✿★✿，将在2024/2025年尽快实现3万片/月的总产能✿★✿。2023年✿★✿，赛微电子先后宣布其MEMS滤波器芯片产线和MEMS微振镜芯片产线产线加速产能释放✿★✿。

　　①已运营产线-MEMS芯片-8英寸晶圆-设计总产能3万片/月(已实现10,000片/月)✿★✿；青岛GaN产线-GaN外延晶圆-产能830片/月✿★✿。

　　②交易中产线片/月✿★✿。（该交易已与2022年11月被德国政府禁止✿★✿，相关信息参看✿★✿：《6亿收购泡汤✿★✿！中国最大MEMS代工厂被德国下禁令✿★✿！》）

　　③筹划/筹建中产线(内部商业讨论中)✿★✿；合肥FAB6-MEMS芯片-12英寸晶圆-设计总产能2万片/月✿★✿；怀柔FAB7-MEMS芯片-6/8英寸晶圆-设计总产能3,000片/月✿★✿；MEMS先进封测P-FAB1-MEMS芯片-8英寸晶圆-设计总产能1万片/月✿★✿；深圳大湾区MEMS中试线片/月✿★✿。

　　西安励德微系统科技有限公司是一家专业提供MEMS一体化解决方案的技术创新企业✿★✿。2022年3月新建千平六寸MEMS产线一条投产✿★✿，涵盖深硅刻蚀✿★✿、双面光刻✿★✿、薄膜✿★✿、清洗✿★✿、键合和隐形划片等全产业链工艺设备和对应的测试能力✿★✿，六寸中试线能够完成从器件设计✿★✿、工艺开发✿★✿、工艺验证到批量生产等全产品孵化流程✿★✿。

　　中芯国际的MEMS方案主要集中在MEMS麦克风✿★✿、加速度计✿★✿、陀螺仪✿★✿、压力✿★✿、显微镜✿★✿、超声波传感器✿★✿、射频器件✿★✿。根据 Yole 发布的《2023 年 MEMS 产业现状》报告✿★✿，全球主要 MEMS 晶圆代工厂中✿★✿，中芯集成排名全球第五✿★✿。相关信息参看《最新全球MEMS晶圆厂排名出炉》✿★✿。

　　产能达到 8 万片/月✿★✿，其产能利用率超过 95%✿★✿；SiC 新建产能 2000 片/月✿★✿，产能利用率超过 90%✿★✿。此外公司还拥有

　　产能 6.5 万片/月✿★✿、MEMS 产能 1.1 万片/月✿★✿、HVIC 产能 5000 片/月✿★✿。相关信息参看《中国大陆最大规模MEMS代工厂✿★✿，上半年营收25.2亿元》

　　中芯集成已于今年5月10日在上交所科创板上市✿★✿，募集金额达125亿元✿★✿，相关信息参看《国内最大MEMS代工厂成功上市✿★✿！》✿★✿。▲来源✿★✿：中芯集成2023半年度报告

　　芯恩（青岛）集成电路有限公司坐落于青岛市西海岸新区✿★✿，是中国首个协同式集成电路制造(CIDM)项目✿★✿。芯恩实现高端数模混合以及特殊工艺的8英寸以及12英寸芯片✿★✿、国内先进光掩膜版等集成电路产品的量产✿★✿，结合国内外知名芯片设计✿★✿、制造✿★✿、封测等企业落户✿★✿，打造成与国外先进IDM同等规模的国内先进的垂直整合芯片厂✿★✿。芯恩（青岛）特色工艺芯片包括MEMS芯片等✿★✿。

　　公司3D-MEMS 硅电容传感器全套生产线✿★✿，并引进其核心技术✿★✿。因此✿★✿，昊润科技拥有自己的3D-MEMS技术和硅电容传感器生产线✿★✿、青鸟元芯（中试线英寸

　　北京青鸟元芯微系统科技有限责任公司是目前国内第一家采用MEMS技术批量生产微型传感器的高科技企业✿★✿。公司以北京大学微电子学研究院和微米/纳米加工技术国家级重点实验室为技术依托✿★✿，专门从事各种微型传感器的研发和生产✿★✿。目前✿★✿，青鸟元芯拥有4 英寸/6 英寸MEMS 中试线✿★✿，传感器年产能达千万规模✿★✿。已经批量生产系列化微型湿度传感器

　　与传感器研发的专业研究所✿★✿，国内最大的传感器产业研究开发基地之一✿★✿。建有4英寸MEMS微加工工艺线✿★✿，自主研制出压力✿★✿、加速度✿★✿、流量✿★✿、湿度✿★✿、气体等MEMS敏感芯片✿★✿，批量生产SOIMEMS压力传感器✿★✿、薄膜铂热敏电阻器✿★✿、高分子湿敏

　　23✿★✿、英特神斯科技（代工）江苏（南京）英特神斯科技有限公司是全球MEMS软件巨头美国Intel

　　浙江芯动科技有限公司位于浙江省嘉兴市✿★✿，是一家专注高端MEMS代工并拥有自主知识产权的生产加工企业✿★✿，是纳杰微电子旗下公司✿★✿。

　　芯片代工厂转型MEMS代工✿★✿，目前有5英寸✿★✿、6英寸✿★✿、8英寸晶圆生产线✿★✿，MEMS生产线可以代工的器件包括✿★✿：三轴陀螺 仪✿★✿、加速度计✿★✿、生物MEMS芯片J9九游会✿★✿、

　　以及汽车电子等领域✿★✿。目前✿★✿，该MEMS生产平台拥有世界最先进的深槽刻蚀✿★✿、键合✿★✿、硅片边缘修整等设备✿★✿，设计月产量可达3000片✿★✿。28✿★✿、华虹宏力（代工）-8英寸

　　2021年11月9日在投资平台上✿★✿，海康威视透露海康微影已经自建一条8寸MEMS生产线及封装线洛克王国刷绝版宠物挂✿★✿，具备年产晶圆一万片✿★✿，探测器百万颗的生产能力✿★✿。

　　探测器产线英寸✿★✿，拥有业界—流的集成电路设计✿★✿、MEMS设计✿★✿、MEMS/封装制程开发✿★✿、应用成品开发及销售服务团队✿★✿。30✿★✿、爱司凯（IDM）-8英寸

　　西人马（FATRI）是一家芯片IDM公司✿★✿，旗下西人马联合测控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年✿★✿，是西人马MEMS高端传感器和芯片制造基地✿★✿，占地70亩✿★✿，建筑面积20000㎡✿★✿，具有6000㎡的超净车间和先进微纳米研究实验室✿★✿，配备8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能传感器芯片产线和中国先进的MEMS器件加工平台✿★✿。西人马19年11月获得朗润基金数千万A轮融资✿★✿，20年一季度获得A+轮的1亿元人民币融资✿★✿，2021年3月获B轮融资✿★✿，发展迅速✿★✿，西人马已经成为国内MEMS领域IDM芯片公司的鳌头✿★✿，红外和压力传感器每日产量可以达到几十万颗✿★✿。西人马是中国MEMS十强企业之一✿★✿。

　　6英寸SOI MEMS标准工艺和封装技术用于MEMS陀螺仪✿★✿、加速度计✿★✿、振动传感器✿★✿、碰撞传感器✿★✿、MEMS光开关✿★✿、VOA及压力传感器等高性能MEMS器件的批量加工✿★✿，美泰科技6英寸产线✿★✿、多维科技（IDM&代工）-6&8英寸

　　2006年成立✿★✿，总部在湖南浏阳✿★✿。启泰传感以王国秋教授为首的科研团队攻克了异质膜关键工艺与技术✿★✿，建设国内第一条金属基薄膜力敏芯片——MEMS压敏传感芯片生产线✿★✿，是世界上少数几家具有金属溅射薄膜压敏芯片规模化生产能力的公司之一✿★✿。

　　杭州士兰微1997年成立✿★✿，是国内规模最大的集成电路芯片设计与制造一体（IDM）的企业之一✿★✿。

　　目前士兰微MEMS传感器产品系列丰富✿★✿，有✿★✿：MEMS加速度计✿★✿、三轴AMR磁传感器✿★✿、六轴惯性传感器✿★✿、高性能MEMS麦克风✿★✿、数字三合一传感器✿★✿、心率传感器✿★✿、高性能气压压力传感器等✿★✿。

　　微波器件以及功率器件✿★✿；MEMS工艺线面向高端光学MEMS器件✿★✿、RF MEMS器件和惯性MEMS传感器等✿★✿。41✿★✿、沈阳仪表科学研究院（中试线英寸

　　沈阳仪表科学研究院传感器国家工厂研究中心是我国唯一的国家级传感器工程研究中心洛克王国刷绝版宠物挂✿★✿，在中国传感器研发✿★✿、生产✿★✿、应用等方面有着举足轻重的地位✿★✿。是我国传感器标准起草牵头单位✿★✿、传感器行业协会理事长单位✿★✿。

　　机械研磨✿★✿、湿法清洗✿★✿、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力✿★✿，同时为国产装备提供验证平台✿★✿，加速先进传感器产业链国产化✿★✿，实现自主可控✿★✿。

　　诺思微已投产一条6英寸MEMS晶圆生产线英寸工艺研发线✿★✿。厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米✿★✿。

　　2021年3月✿★✿，国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项项目“硅基MEMS压电薄膜及器件关键技术与平台”的项目在诺思微系统启动✿★✿，针对5G/6G无线通讯✿★✿、物联网等对射频滤波器✿★✿、智能传感器提出新的技术要求✿★✿，对实现晶圆级硅基MEMS压电器件的大规模生产✿★✿、摆脱我国目前关键MEMS压电器件受制于人的局面✿★✿，有重要意义✿★✿。

　　2021年8月完成4亿元融资✿★✿，预计在一年内全面加速产能释放✿★✿，达年产20亿颗滤波器芯片的产能规模✿★✿。45✿★✿、武汉衍熙微器件（IDM）-8英寸

　　2010年固锝收购明锐光电✿★✿，明锐光电主要从事MEMS-CMOS三维集成制造平台技术及八英寸晶圆级封装技术及产线年成立明皜传感✿★✿，从事微机电传感器芯片和器件的工艺开发✿★✿、设计✿★✿。2021年8月✿★✿，明皜传感获小米投资✿★✿，注册资本由 6443.64 万元人民币增加至 7085.19 万元人民币✿★✿，增幅为 9.96%✿★✿。

　　西北工业大学宁波研究院MEMS加工平台位于宁波市国家高新区智造港A区✿★✿，拥有世界顶级SPTS深硅刻蚀机✿★✿、SUSS MA/BA8 Gen4***✿★✿、SUSS XB8键合机✿★✿、全自动涂胶显影机✿★✿、原子层沉积设备✿★✿、两台电子束蒸镀设备（金/银/铝等金属✿★✿、SiO2/Al2O3等介质）✿★✿、两台激光隐切设备（硅/玻璃）✿★✿、湿法腐蚀与清洗系统✿★✿、椭偏仪✿★✿、台阶仪等MEMS工艺专业设备✿★✿，设备兼容8/6/4/2英寸晶圆加工✿★✿，面向全国提供MEMS芯片结构设计✿★✿、镀膜✿★✿、光刻✿★✿、刻蚀✿★✿、划片✿★✿、封测J9九游会✿★✿、应用开发等全方位技术服务✿★✿。

　　中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所由中国科学院与江苏省人民政府✿★✿、苏州市人民政府和苏州工业园区于2006年共同创建✿★✿。研究所前瞻布局了电子信息✿★✿、纳米材料✿★✿、生物医学等重点研究领域✿★✿，建设有用于MEMS器件研发使用的代工产线英寸中试线

　　50✿★✿、兵器214所（中试线所智能传感器创新中心已建成国家级微电子机械系统(MEMS)国家地方联合工程实验室和6英寸MEMS智能传感器研制生产工艺线✿★✿，具有设计✿★✿、制造✿★✿、封装✿★✿、筛选测试及应用的全产业链研制生产能力✿★✿，拥有丰富的完全自主知识产权的MEMS技术✿★✿，核心发明专利300余项✿★✿，产品覆盖高端惯性传感器✿★✿、压力传感器✿★✿、光MEMS传感器✿★✿、流量传感器以及气体传感器等✿★✿，是国内MEMS龙头企业和工信部传感器“一条龙”示范企业✿★✿。

　　52✿★✿、中科院电子学研究所（研发平台）中国科学院电子学研究所（以下简称电子所）创建于1956年✿★✿，现已并入中国科学院空天信息创新研究院✿★✿，是我国第一个综合型电子与信息科学研究所✿★✿，设有传感技术联合国家重点实验室(北方基地)✿★✿，建有用于MEMS研发使用的MEMS产线✿★✿、中科院上海微系统所（研发平台）中国科学院上海微系统所设有传感技术联合国家重点实验室(北方基地)✿★✿，现有的MEMS技术平台由微系统加工平台和微系统封装平台两部分组成✿★✿，分别位于上海微系统所漕河泾园区内主楼的一层和二层净化间内✿★✿。

　　整个平台拥有100多台套先进的大中型设备✿★✿，总价值达1.1亿元✿★✿，可以完成从微芯片制造✿★✿、芯片封装✿★✿、器件测试✿★✿、微系统集成等成套工艺✿★✿，为微系统研究提供有力的技术保障✿★✿。

　　54✿★✿、上海微技术工研院（中试线年✿★✿，上海微技术工业研究院（以下简称“工研院”）构建的国内首条✿★✿，全球领先✿★✿，兼容CMOS的8英寸研发中试线正式投入运营✿★✿，月产量将达到3000件✿★✿。

　　该产线部署了MEMS✿★✿、硅光子✿★✿、RF✿★✿、硅基III-V族✿★✿、3D集成✿★✿、MR磁传感✿★✿、功率及生物等相关工艺和量测设备✿★✿。作为国内第一条先进8英寸研发中试线英寸研发中试线不仅可承担产品研发✿★✿、小批量生产✿★✿、技术培训✿★✿、设备验证等服务✿★✿，有助于提升研发的成功率✿★✿。

　　2022年1月3日晚间✿★✿，赛微电子发布公告✿★✿，公司于2022年1月1日与合肥高新区管委会签署了《合作框架协议》✿★✿，拟在合肥高新区投资建设12吋MEMS制造线亿元✿★✿，拟建设一座设计产能为2万片/月的12吋MEMS产线✿★✿，预计满产后可实现年收入约30亿元✿★✿。将是中国较具规模的12英寸MEMS产线之一✿★✿。

　　赛微电子合肥项目公司注册资本拟设定为40亿元✿★✿，计划赛微电子占股约36%(出资约14.4亿元)✿★✿、合肥高新区管委会联合市区下属国资平台占股约24%（出资约10亿元）✿★✿、项目核心团队持股约10%（出资约4亿元）✿★✿、其他社会资本占股合计约30%（出资约12亿元）✿★✿。

　　湖北宜昌东方微磁有限公司是中国船舶重工集团公司第七一〇研究所全资子公司✿★✿，是一家致力于磁学计量和中国磁电产业发展的高新技术企业✿★✿，建有国防科技工业弱磁一级计量站✿★✿、磁电子技术国家地方联合工程实验室✿★✿、湖北省磁电子工业技术研究院✿★✿，拥有国内第一条MEMS磁传感器芯片生产线✿★✿。东方微磁的MEMS生产线年底全部调通✿★✿，是国内首条可满足工业化生产的磁芯片生产线片/月✿★✿，每年至少可生产月2亿颗芯片✿★✿，共有溅射镀膜✿★✿、光刻✿★✿、线台✿★✿。

　　您对本文有什么看法？欢迎在传感器专家网公众号本内容底下留言讨论✿★✿，或在中国最大的传感社区✿★✿：传感交流圈中进行交流✿★✿。

　　和板卡信息丢失 2. PSoC Programmermer没法擦除指定flash✿★✿，都是整个128K擦除✿★✿，例如在flash中分配一个row来存储

　　2月23日比亚迪正式向匈牙利首批车主成功交付 BYD ATTO 3✿★✿；BYD ATTO 3在国内对应的车型是元 PLUS✿★✿。这标志着比亚迪成功开启了中东欧

　　,首批服务器在和林格尔新区成功下线✿★✿。 超聚变服务器北方生产基地,整体秉持绿色低碳理念,涵盖服务器生产✿★✿、运维✿★✿、电子信息

　　首批服务器成功下线 /

　　各工业设备数据采集✿★✿，它具备快速✿★✿、准确✿★✿、高效等优势✿★✿，是为企业智能化生产转变的重要一环✿★✿，此外✿★✿，它可将个数据汇总✿★✿，传输给MES✿★✿、ERP等系统✿★✿，亦可将检测数据传输给相应的控制系统✿★✿，从而完成高效智能自动化的生产✿★✿，也向着打造无人

　　据介绍✿★✿，中矿资源目前拥有年2.5万吨电池级碳酸锂/氢氧化锂和年6000吨电池级氟化锂生产线✿★✿。此次春鹏锂已

　　✿★✿。中国科学院院士朱日祥J9九游会✿★✿，中国科学院地质与地球物理研究所研究员杨长春✿★✿，县领导及高新区领导王剑峰✿★✿、朱国忠出席✿★✿。 据悉

　　制造项目总投资5.4亿元✿★✿，位于高新区城北园区的核心区域✿★✿，占地74亩✿★✿，新增建筑面积8.9万平方米✿★✿，项目一期

　　中兢兢业业的检测数据✿★✿，为工作人员提供智能化服务✿★✿，让不合格品无所遁形✿★✿。 1✿★✿、适应环境情况 轧材速度

　　量产线日✿★✿，伴随着厂房各种指示灯的闪烁和各类生产设备的嗡鸣✿★✿，上海拜安半导体有限公司（以下简称“拜安半导体”）投建的“6英寸

　　布局过程中✿★✿，应用反向机构设计 Inverse Kinematics✿★✿，检查多轴设备可达性的实验

　　FXCustomTabBarController UITabBarController类簇九游个人中心✿★✿，j9九游会官方登录✿★✿。无人产线✿★✿！J9九游会·(中国)登录入口✿★✿，J9九游会登录入口九游会j9官方网站数字化车间✿★✿。